依照國際慣例，無塵凈化級別主要是依據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規范的粒子數量來規則。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個十分微量的單位上。當然這個規范中契合灰塵規范的顆粒相關于我們常見的灰塵曾經是小的微乎其微，但是關于光學結構而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生十分大的負面影響，所以在光學結構產品的消費上，無塵是必然的請求。

　　每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就到達了國際無塵規范的A級。目前應用在芯片級消費加工的無塵規范關于灰塵的請求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片消費上。微塵數量被嚴厲控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

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